滑阀式真空泵知识解析

滑阀式真空泵，全称滑阀式油封机械真空泵，简称滑阀泵，同旋片泵一样，是一种变容积式气体传输泵，其应用范围和使用条件也与旋片泵基本相同。

滑阀式真空泵由于其结构特点，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地应用与大型真空设备上。滑阀式真空泵的基本类型也分为单级与双级两种类型。其中单级泵中的小泵极.限压力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均关气镇）；双级泵的极.限压力不大于0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。

由于滑阀式真空泵旋转质量有较大偏心，没有好的质量平衡，在运转时会产生较大振动。同时由于滑阀泵的旋转质心运动轨迹是复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完.全平衡。这就限制了滑阀式真空泵的转数，一般控制在350～600r/min，个别的可达到1000r/min以上。

二、滑阀式真空泵的工作原理与结构

1、滑阀式真空泵的工作原理

滑阀式真空的主要结构包括泵体、偏心轮、滑阀组件和导轨等，

泵腔同心的驱动轴带动偏心轮旋转，偏心轮带动滑阀环运动，使滑阀杆在导轨上下滑动和左右摆动。滑阀将泵腔分成A、B两个部分。当驱动轴转动时，A腔容积增加，压力降.低，气体经入口、滑阀杆（A腔一侧开口）进入A腔，此时处于吸气过程。滑阀继续顺时针向左上位置运转，A腔容积达到zui大时，进气口与A腔隔绝，吸气过程结束，与此同时，B腔容积处于不断的减小、压缩气体的过程。当B腔气体压力达到排气压力时，推开油封的排气阀，开始排气。当滑阀处于正上方的位置时，排气结束（A腔容积也处于zui大），新一轮的循环过程开始。

2、滑阀式真空泵的结构特点

滑阀式真空泵的主要结构包括了泵体、偏心轮、滑阀环、滑杆、导轨等一系列组件。与旋片式真空泵类似，滑阀泵也设有气镇阀，气镇孔开在排气口附近或端盖上，以排除含可凝性蒸气的气体，并在泵出口设置有油气分离器，减少泵油的损耗和对环境的污染。

除了单双级的区分外，滑阀式真空泵还有单缸、双缸、三缸的区分，其中三缸滑阀泵较好地解决了滑阀的质量平衡，使泵的振动得到了较好改善，转速也相对较高。

三、滑阀式真空泵的应用要点

滑阀式真空泵与旋片式真空泵一样可单独使用，同时也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等真空泵的前级泵使用，与旋片泵相比滑阀泵更为耐用，在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟实验的领域使用较多。但在遇含水蒸气、粉尘等介质环境，需加装过滤装置，也无法用于易燃易爆气体环境以及压缩输送气体。同时受限于油封式机械真空泵的特点，在一些清洁环境领域，如半导体、石化等，适用性不及一些干式真空泵。